| 发明名称 |
TREATING SEMICONDUCTOR WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB8526769(D0) |
申请公布日期 |
1985.12.04 |
| 申请号 |
GB19850026769 |
申请日期 |
1985.10.30 |
| 申请人 |
CFM TECHNOLOGIES LTD PARTNERSHIP |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/306;B05B3/04;B05C3/109;B08B3/04;B08B7/00;C23C16/54;C30B33/00;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):B08B3/04 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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