| 摘要 |
좌표 측정 기계(1)의 보정 방법에서, 상기 좌표 측정 기계(1)는 측정 지점의 접근을 위해 베이스(11)에 대한 툴 캐리어(15)의 이동을 위한 구동 메커니즘을 가지고, 보정 레이저 헤드(20)에 의해 발광하는 레이저 빔(25)이 최소 두 개의 기본적인 직교 축(X,Y,Z)의 주위를 회전할 수 있도록, 보정 레이저 헤드(20)는 툴 캐리어(15)에 수행 및 부착되고, 거리 변화는 상기 보정 레이저 헤드(20)에 의해 간섭 측정으로 측정될 수 있다. 상기 방법은 상기 레이저빔(25)의 방향에 의해 결정되는 측정 경로(26)에 제1 레이저 역반사장치 세트(16a-d)를 향해 레이저 빔(25)을 방출 및 진행하며, 상기 측정 경로(26)에 관한 제1 레이저 역반사장치(16a)를 향하여 상기 레이저 빔(25)이 계속 유지되기 위하여, 상기 레이저 빔(25)이 상기 측정 경로(26)를 따라 이동하고, 반사된 레이저 빔을 상기 보정 레이저 헤드(20)에서 수신하고, 상기 측정 경로를 따라 다수의 측정 지점에서 상기 제1 레이저 역반사장치(16a)의 거리 변화를 측정하고, 다수의 측점 지점 각각의 기계위치, 상기 베이스(11,31)에 관련된 상기 툴 캐리어(15,55)의 위치의 상대적인 상기 기계 위치를 가진다. |
