发明名称 EXPOSURE DEVICE
摘要 광량 손실을 억제하면서, 대략 단일 방향으로 편광 방향을 갖는 직선 편광 상태의 입사광을, 대략 원주 방향으로 편광 방향을 갖는 원주 방향 편광 상태의 광으로 변환할 수 있는 편광 변환 소자. 입사광의 편광 상태를 소정의 편광 상태로 변환하는 편광 변환 소자(10). 예를 들면, 수정과 같은 선광성을 갖는 광학 재료에 의해 형성되어 원주 방향으로 변화하는 두께 분포를 갖는다. 두께 분포는, 대략 단일 방향으로 편광 방향을 갖는 직선 편광 상태의 광을, 대략 원주 방향으로 편광 방향을 갖는 원주 방향 편광 상태의 광으로 변환하도록 설정되어 있다. 원주 방향으로 분할된 복수의 영역(10A~10D)을 갖고, 이 복수의 영역에 있어서 서로 이웃하는 임의의 2개의 영역의 두께가 서로 상이하다. 또한, 복수의 영역에 있어서 대향하는 임의의 2개의 영역은 서로 대략 동등한 선광 각도를 갖는다.
申请公布号 KR20160063423(A) 申请公布日期 2016.06.03
申请号 KR20167013759 申请日期 2005.01.14
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 TANITSU OSAMU;SHIGEMATSU KOJI;HIROTA HIROYUKI;MATSUYAMA TOMOYUKI
分类号 G03F7/20;F21V9/14;F21V13/02;G02B5/30;G02B27/28;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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