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发明名称 APPAREIL PERFECTIONNE POUR LA STABILISATION D'UN ARC SERVANT A LA VAPORISATION D'UNE MATIERE SOLIDE
摘要
申请公布号 FR2545840(B1) 申请公布日期 1985.11.29
申请号 FR19830020123 申请日期 1983.12.15
申请人 VAC TEC SYSTEMS INC 发明人
分类号 C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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