| 发明名称 |
ANORDNUNG ZUM BESCHICHTEN VON SUBSTRATEN IN EINER VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH652754(A5) |
申请公布日期 |
1985.11.29 |
| 申请号 |
CH19810001720 |
申请日期 |
1981.03.13 |
| 申请人 |
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
KRAUS, THADDAEUS, DR. |
| 分类号 |
C23C14/04;C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/50;C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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