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发明名称 APPAREIL DE CHARGEMENT ET D'ALIMENTATION POUR POSTE DE TRAITEMENT DE SUBSTRATS MINCES
摘要
申请公布号 FR2473022(B1) 申请公布日期 1985.11.29
申请号 FR19800027228 申请日期 1980.12.22
申请人 VARIAN ASSOCIATES 发明人
分类号 B65G1/00;B65G1/16;B65G49/07;C23C14/56;H01L21/67;H01L21/677;(IPC1-7):B65G69/20;H01L21/68 主分类号 B65G1/00
代理机构 代理人
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