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发明名称 TRAEGERHORDE AUS QUARZGLAS FUER SCHEIBENFOERMIGE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 DE3419866(A1) 申请公布日期 1985.11.28
申请号 DE19843419866 申请日期 1984.05.28
申请人 HERAEUS QUARZSCHMELZE GMBH, 6450 HANAU, DE 发明人 SCHUELKE, KARL-ALBERT, DIPL.-ING., 6451 NEUBERG, DE
分类号 H01L21/673;C30B25/12;C30B31/14;C30B35/00;H01L21/22;H01L21/67;(IPC1-7):B28D7/00;H01L21/68;B65G7/12 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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