发明名称 INLET CHAMBER FOR MOCVD REACTOR
摘要
申请公布号 GB8526241(D0) 申请公布日期 1985.11.27
申请号 GB19850026241 申请日期 1985.10.24
申请人 RCA CORPORATION 发明人
分类号 C23C16/52;(IPC1-7):C23C16/52 主分类号 C23C16/52
代理机构 代理人
主权项
地址