ALUMINUM BASE DIE FOR STAMPERS AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME STAMPER AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME METHOD FOR MANUFACTURING ARTICLE AND ANTIREFLECTION ARTICLE

摘要

미세 요철 구조를 표면에 갖는 스탬퍼의 제조에 이용되는, 알루미늄과 마그네슘을 함유하는 알루미늄 원형에 있어서, 마그네슘의 함유량이 0.1∼3질량%이고, 규소의 함유량이 100질량ppm 이하이고, 알루미늄 및 마그네슘 이외의 원소의 함유량의 합계가 500질량ppm 이하이며, 또한 당해 스탬퍼용 알루미늄 원형의 표면에 있어서의 상당 직경이 10nm 이상인 규화 마그네슘의 개수가 10개/1000㎛이하인, 스탬퍼용 알루미늄 원형을 이용한다.