Process gas controller,申请号US19830529898-传众专利搜索

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发明名称	Process gas controller
摘要
申请公布号	US4554942(A)	申请公布日期	1985.11.26
申请号	US19830529898	申请日期	1983.09.06
申请人		发明人
分类号	B08B9/02;F17C13/02;F17C13/04;(IPC1-7):F17D3/00;B08B9/06	主分类号	B08B9/02
代理机构		代理人
主权项
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