发明名称 UNMANNED CART USED IN CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPS60236868(A) 申请公布日期 1985.11.25
申请号 JP19840093366 申请日期 1984.05.09
申请人 HITACHI KIDEN KOGYO KK 发明人 IMAMURA YOSHINOBU;KAMEI SHIGEKI;FUSHIO MASANORI
分类号 B61D27/00;B61B13/00;B65G54/02;G05D1/02 主分类号 B61D27/00
代理机构 代理人
主权项
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