发明名称 DATA HANDLING SYSTEM FOR A PATTERN GENERATOR.
摘要 Ce système de traitement de données pour un générateur de configurations reçoit des données spécifiant chaque élément quadrilatéral dans une configuration à créer par balayage au laser ou une autre technique. Le balayage est effectué par bande. Dans le préprocesseur, des vecteurs séparés sont produits pour la partie de chaque bord quadrilatéral dans chaque bande. Un processeur en temps réel, comportant une "conduite" ou une cascade de processeurs à faisceau, est utilisé pour créer une carte de bits à partir de ces vecteurs à bords écrêtés. La carte de bits elle-même est compensée en biais pour tenir compte du mouvement relatif entre le dispositif de balayage à laser et la cible pendant la formation de la configuration.
申请公布号 EP0161258(A1) 申请公布日期 1985.11.21
申请号 EP19840902154 申请日期 1984.05.07
申请人 AMERICAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT TECHNOLOGIES 发明人 WELMERS, THOMAS, EVERETT
分类号 B23K26/00;G03F1/08;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H04N1/113;(IPC1-7):B23K15/00;H01L21/203;H01L29/06 主分类号 B23K26/00
代理机构 代理人
主权项
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