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发明名称 VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON BORPHOSPHORSILICATGLAS AUF SILICIUM-WAFERN
摘要
申请公布号 DE3515135(A1) 申请公布日期 1985.11.21
申请号 DE19853515135 申请日期 1985.04.26
申请人 THERMAL SYSTEMS LTD. 发明人 C. FOSTER,THOMAS;C. GOLDMAN,JON;W. HOEYE,GARY
分类号 C03B19/14;C23C16/40;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/30 主分类号 C03B19/14
代理机构 代理人
主权项
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