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发明名称 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON STRUKTUREN IN RESISTSCHICHTEN
摘要
申请公布号 DE3418854(A1) 申请公布日期 1985.11.21
申请号 DE19843418854 申请日期 1984.05.21
申请人 ERNST LEITZ WETZLAR GMBH 发明人 HEITMANN,KNUT,DIPL.-ING.;HOPPE,MARTIN,DIPL.-MIN.DR.;SCHNEIDER,ECKART;THAER,ANDREAS,DR.RER.NAT.
分类号 G03C5/00;G03C5/08;G03F7/039;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/36;G03F7/38;(IPC1-7):G03F7/10;G03B42/06 主分类号 G03C5/00
代理机构 代理人
主权项
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