DETECTOR ARRAY MODULE-STRUCTURE AND FABRICATION.

摘要

Module de réseaux de photodétecteurs (12) comportant une pile de puces de semi-conducteurs (14), des circuits intégrés se trouvant sur chaque puce. Afin de permettre la disposition de photodétecteurs (28) sur l'extrémité du plan focal (16) et de circuits de films minces (30) sur l'extrémité du plan arrière, chaque plan est gravé pour réduire le matériau semi-conducteur, puis recouvert de matériau de passivation, avant d'être guipé pour mettre à nu les extrémités des fils électriques sur les puces.