PLATING SOLUTIONS FOR ELECTROLESS DEPOSITION OF RUTHENIUM

摘要

본 명세서에는 무전해 루테늄 도금액이 개시되어 있다. 이 용액은 루테늄 소스, 폴리아미노 폴리카르복실산 착화제, 환원제, 안정화제, 및 pH 변경 물질을 포함한다. 무전해 루테늄 도금액을 조제하는 방법도 또한 제공된다.