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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6052572(B2) 申请公布日期 1985.11.20
申请号 JP19780042513 申请日期 1978.04.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIBATOMI AKIHIRO;OOSAWA AKIRA
分类号 H01L29/80;H01L21/205;H01L21/338;H01L21/86;H01L27/00;H01L29/812 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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