发明名称 CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION
摘要
申请公布号 GB8525789(D0) 申请公布日期 1985.11.20
申请号 GB19850025789 申请日期 1985.10.18
申请人 MITEL CORPORATION 发明人
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/314;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
地址