发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE BY MOLECULAR BEAM EPITAXY
摘要
申请公布号 GB2158843(A) 申请公布日期 1985.11.20
申请号 GB19840012275 申请日期 1984.05.14
申请人 * PHILIPS ELECTRONIC AND ASSOCIATED INDUSTRIES LIMITED 发明人 CHARLES THOMAS * FOXON
分类号 H01L21/268;C30B23/06;H01L21/203;H01S5/00;(IPC1-7):C30B23/06 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
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