| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG TITANSILICID-HALTIGER FILME AUF SUBSTRATEN UND SOLCHERMASSEN HERGESTELLTE FILME UND ZUSAMMENGESETZTE GEGENSTAENDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3516840(A1) |
申请公布日期 |
1985.11.14 |
| 申请号 |
DE19853516840 |
申请日期 |
1985.05.10 |
| 申请人 |
ALLIED CORP. |
发明人 |
GUPTA,ARUNAVA;ALLEN WEST,GARY;WAYNE BEESON,KARL |
| 分类号 |
C23C16/42;C23C16/48;H01L21/28;H01L21/285;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/90;B23K26/00;C23C14/28;C23C16/08;H01L21/268;H01L23/52 |
主分类号 |
C23C16/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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