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经营范围
发明名称
CONTINUOUS DEPOSITION OF AMORPHOUS MATERIAL
摘要
申请公布号
AU547920(B2)
申请公布日期
1985.11.14
申请号
AU19850039049
申请日期
1985.02.21
申请人
ENERGY COVERSION DEVICES, INC.
发明人
MASATSUGU IZU;TIMOTHY J. BARNARD;DAVID A. GATTUSO;HERBERT C. OVSHINSKY
分类号
C23C16/509;C23C16/54;(IPC1-7):H01L21/205;H01L31/18
主分类号
C23C16/509
代理机构
代理人
主权项
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