VERFAHREN ZUR EINSEITIGEN METALLISIERUNG VON VORDERSEITIG STRUKTURIERTEN SILICIUMWAFERN,申请号DD19840270487-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR EINSEITIGEN METALLISIERUNG VON VORDERSEITIG STRUKTURIERTEN SILICIUMWAFERN
摘要
申请公布号	DD229819(A1)	申请公布日期	1985.11.13
申请号	DD19840270487	申请日期	1984.12.08
申请人	VEB MIKROELEKTRONIK,"KARL LIEBKNECHT",STAHNSDORF,,DD	发明人	HUTH,FRIEDRICH,DD;KOHL,WALTER,DD;MALLWITZ,WINFRIED,DD;GAERTNER,BRIGITTE,DD;DAUTZENBERG,KARIN,DD;KOCH,EBERHARD,DD;SCHUBERT,WOLFGANG,DD
分类号	H01L21/283;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/283	主分类号	H01L21/283
代理机构		代理人
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