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发明名称 UEBERDECKUNGSMARKENKONFIGURATION ZUM HOCHGENAUEN, AUTOMATISCHEN AUSRICHTEN
摘要
申请公布号 DD229825(A1) 申请公布日期 1985.11.13
申请号 DD19840270883 申请日期 1984.12.17
申请人 VEB ZFT MIKROELEKTRONIK,,,,DD 发明人 PFORR,RAINER,DD;WALDMANN,GEORG,DD;STAMM,GUNTER,DD;KLINGENFELD,DIETMAR,DD
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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