| 发明名称 |
SILICON-CONTAINING NOVOLAK RESIN AND MATERIAL AND PATTERN FORMING METHOD USING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2158450(A) |
申请公布日期 |
1985.11.13 |
| 申请号 |
GB19850010722 |
申请日期 |
1985.04.26 |
| 申请人 |
* NEC CORPORATION |
发明人 |
YASUSHI * SAOTOME;HIROSHI * GOKAN;KAZUHIDE * SIAGO;MASAYOSHI * SUZUKI;YOSHITAKE * OHNISHI |
| 分类号 |
C07F7/08;C08G8/04;C08G8/28;C08L61/14;G03F7/075;(IPC1-7):C08G8/04;G03C1/52;H01L21/312 |
主分类号 |
C07F7/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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