发明名称 Effusion cell assembly
摘要 An effusion cell assembly includes a self-supporting element disposed within a housing member. The self-supporting element provides efficient heat transfer to a crucible positioned therein and permits operation at relatively lower filament tempertures.
申请公布号 US4553022(A) 申请公布日期 1985.11.12
申请号 US19840616743 申请日期 1984.06.04
申请人 THE PERKIN-ELMER CORPORATION 发明人 COLOMBO, PAUL
分类号 C23C14/28;C30B23/06 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
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