发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT HAVING A BURIED RESISTOR
摘要
申请公布号 EP0111307(A3) 申请公布日期 1985.11.06
申请号 EP19830112313 申请日期 1983.12.07
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 HANAMURA, SHOJI;MINATO, OSAMU;SASAKI, TOSHIO;YAMAMOTO, SYUUICHI;MASUHARA, TOSHIAKI
分类号 H01L29/78;H01L21/02;H01L21/8244;H01L27/07;H01L27/11;(IPC1-7):H01L27/10;H01L27/06;H01L21/82 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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