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发明名称
ANORDNUNG ZUR UEBERDECKUNG VON MUSTERN
摘要
申请公布号
DD229538(A1)
申请公布日期
1985.11.06
申请号
DD19840270171
申请日期
1984.12.03
申请人
VEB HALBLEITERWERK,,,,DD
发明人
EICHLER,CHRISTOPH,DD;FOERTSCH,PETER,DD;FUST,WOLFGANG,DD
分类号
H01L21/66;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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