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发明名称
摘要
申请公布号 DE3150054(C2) 申请公布日期 1985.10.31
申请号 DE19813150054 申请日期 1981.12.17
申请人 HITACHI, LTD.;HITACHI CHEMICAL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KATAOKA, FUMIO;SHOJI, FUSAJI, YOKOHAMA, JP;OBARA, ISAO, KAMAKURA, JP;YOKONO, HITOSHI, KATSUTA, JP;ISOGAI, TOKIO, FUJISAWA, JP;KOJIMA, MITUMASA, HITACHI, JP
分类号 C08K5/00;C08L79/08;G03F7/008;G03F7/038;(IPC1-7):C08L79/08;G03C1/71;G03F7/26;H01L21/312 主分类号 C08K5/00
代理机构 代理人
主权项
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