| 发明名称 |
ROENTGENSTRAHLLITHOGRAFIEGERAET SOWIE VERFAHREN ZU DESSEN BETRIEB. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH652236(A5) |
申请公布日期 |
1985.10.31 |
| 申请号 |
CH19790000296 |
申请日期 |
1979.01.12 |
| 申请人 |
THE PERKIN-ELMER CORPORATION |
发明人 |
BUCKLEY, WILLIAM DEREK |
| 分类号 |
G03B42/02;G03C5/08;G03F7/20;H01J35/02;H01L21/027;H01L21/30;H05G1/00;(IPC1-7):H01L21/02;H05G1/02 |
主分类号 |
G03B42/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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