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经营范围
发明名称
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号
GB8523441(D0)
申请公布日期
1985.10.30
申请号
GB19850023441
申请日期
1985.09.23
申请人
VG INSTRUMENTS GROUP LTD
发明人
分类号
C23C14/48;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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