| 发明名称 |
APPARATUS FOR CATHODIC SPUTTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2157715(A) |
申请公布日期 |
1985.10.30 |
| 申请号 |
GB19850008897 |
申请日期 |
1985.04.04 |
| 申请人 |
* BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
URS * WEGMANN;DR TECH EDUARD * RILLE |
| 分类号 |
C23C14/36;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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