Method and apparatus for the vaporisation of a material in a vacuum chamber by an arc discharge.

摘要

Zum Verdampfen von Material im Vakuum oder bei geringem Gasdruck durch Beschuß mit Elektronen aus einer Vakuumbogenentladung unter Verwendung einer Kathode und Anode wird vorgeschlagen, daß a) die Elektronen zum Erhalt einer selbständigen Entladung in den Kathodenflecken einer Vakuumbogenentladung entstehen und b) die Elektronen der Entladung die Anode oder einen Teil der Anode verdampfen und im wesentlichen hierdurch das Brennmedium zum Erhalt einer selbständigen selbsterhaltenen Bogenentladung erzeugen.