发明名称 |
HIGH FREQUENCY IMPEDANCE MATCHING CONTROLLER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS60211517(A) |
申请公布日期 |
1985.10.23 |
申请号 |
JP19850053540 |
申请日期 |
1985.03.19 |
申请人 |
PERKIN ELMER CORP:THE |
发明人 |
SHII AARU SHIIRU JIYUNIA;HANSU JII RUUDOUITSUGU;MAIKERU JIEI GASUCHIN |
分类号 |
H03H11/28;G05F1/14;H03H11/30 |
主分类号 |
H03H11/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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