发明名称 HIGH FREQUENCY IMPEDANCE MATCHING CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPS60211517(A) 申请公布日期 1985.10.23
申请号 JP19850053540 申请日期 1985.03.19
申请人 PERKIN ELMER CORP:THE 发明人 SHII AARU SHIIRU JIYUNIA;HANSU JII RUUDOUITSUGU;MAIKERU JIEI GASUCHIN
分类号 H03H11/28;G05F1/14;H03H11/30 主分类号 H03H11/28
代理机构 代理人
主权项
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