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发明名称
摘要
申请公布号	JPS6046821(B2)	申请公布日期	1985.10.18
申请号	JP19750120674	申请日期	1975.10.08
申请人	HITACHI LTD	发明人	HORIE NOBORU
分类号	H01L29/40;H01L21/283;H01L21/31	主分类号	H01L29/40
代理机构		代理人
主权项
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