发明名称 |
Wafer alignment apparatus |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2157078(A) |
申请公布日期 |
1985.10.16 |
申请号 |
GB19850002075 |
申请日期 |
1985.01.28 |
申请人 |
THE * PERKIN ELMER CORPORATION |
发明人 |
DANIEL N * GALBURT;JERE D * BUCKLEY |
分类号 |
H01L21/66;G03F9/00;H01L21/67;H01L21/68;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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