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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ERZIELEN DES WACHSTUMS DUENNER SCHICHTEN EINER VERBINDUNG.
摘要
申请公布号 AT15820(T) 申请公布日期 1985.10.15
申请号 AT19800100568T 申请日期 1980.02.04
申请人 OY LOHJA AB 发明人 SUNTOLA, TUOMO;PAKKALA, ARTO;LINDFORS, SVEN
分类号 C23C16/44;C30B25/02;(IPC1-7):C30B25/02 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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