| 发明名称 |
Small part transport system |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2156582(A) |
申请公布日期 |
1985.10.09 |
| 申请号 |
GB19850002074 |
申请日期 |
1985.01.28 |
| 申请人 |
THE * PERKIN ELMER CORPORATION |
发明人 |
GEORGE * BANTZ;JORGE S * IVALDI |
| 分类号 |
B65G59/02;B65G54/02;B65G59/00;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65G59/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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