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发明名称 APPARATUS FOR VAPOUR DEPOSITION BY ARC DISCHARGE
摘要
申请公布号 GB2156384(A) 申请公布日期 1985.10.09
申请号 GB19840003456 申请日期 1984.02.09
申请人 * WEDTHECH CORP 发明人 EDUARD * PINKHASOV
分类号 C23C14/14;C23C14/24;C23C14/32;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/285;H05K1/03;H05K3/38;(IPC1-7):C23C14/28 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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