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发明名称
摘要
申请公布号
JPS60151134(U)
申请公布日期
1985.10.07
申请号
JP19840039866U
申请日期
1984.03.19
申请人
发明人
分类号
G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
地址
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