发明名称 PROCEDE POUR INTERCONNECTER LES ZONES ACTIVES ET/OU LES GRILLES DES CIRCUITS INTEGRES CMOS
摘要 <P>PROCEDE POUR INTERCONNECTER LES ZONES ACTIVES ETOU LES GRILLES DES CIRCUITS INTEGRES CMOS.</P><P>LE PROCEDE SE CARACTERISE EN CE QUE, LORS DE LA REALISATION DES GRILLES 35, 37 DANS UNE PREMIERE COUCHE CONDUCTRICE 34, ON DEFINIT, DANS CETTE PREMIERE COUCHE, LES DIMENSIONS DES CONNEXIONS A REALISER ET EN CE QUE, APRES LA REALISATION DES ZONES ACTIVES 38, 40, 42, 44, ON EFFECTUE DES ISOLATIONS LATERALES 46 DES GRILLES 35, 37 PUIS ON DEPOSE, SUR L'ENSEMBLE DU CIRCUIT, EXCEPTE SUR LES ISOLATIONS LATERALES 46, UNE DEUXIEME COUCHE CONDUCTRICE 48 REALISANT LES CONNEXIONS VOULUES.</P>
申请公布号 FR2562327(A1) 申请公布日期 1985.10.04
申请号 FR19840005052 申请日期 1984.03.30
申请人 COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE 发明人 JOEL HARTMANN ET PIERRE JEUCH
分类号 H01L21/768;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/417;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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