| 发明名称 |
FORMATION OF SUBMICRON FEATURES IN SEMICONDUCTOR DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2110876(B) |
申请公布日期 |
1985.10.02 |
| 申请号 |
GB19820034496 |
申请日期 |
1982.12.03 |
| 申请人 |
* WESTERN ELECTRIC COMPANY INCORPORATED |
发明人 |
ELIEZER * KINSBRON;WILLIAM THOMAS * LYNCH |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/033;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/3213;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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