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发明名称 DETECTORINRICHTING.
摘要
申请公布号 NL8500528(A) 申请公布日期 1985.10.01
申请号 NL19850000528 申请日期 1985.02.25
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. TE PALO ALTO, CALIFORNIE, VER. ST. V. AM. 发明人
分类号 H01L21/30;G01B11/00;G01N21/88;G01N21/93;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F9/00 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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