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发明名称
DAMPFQUELLE FUER VAKUUMBEDAMPFUNGSANLAGEN.
摘要
申请公布号
CH651592(A5)
申请公布日期
1985.09.30
申请号
CH19820006224
申请日期
1982.10.26
申请人
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
EISELE, IGNAZ, PROF. DR. RER. NAT.;BULLEMER, BERNHARD, PROF. DR.;BECK, ANDREAS, DIPL.-PHYS.
分类号
C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
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