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发明名称
摘要
申请公布号	JPS60146647(U)	申请公布日期	1985.09.28
申请号	JP19840034970U	申请日期	1984.03.12
申请人		发明人
分类号	B24B37/00;B24B37/04;B24B37/10;H01L21/304	主分类号	B24B37/00
代理机构		代理人
主权项
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