INSTALLATION POUR LE DEPOT DE COUCHES MINCES EN GRANDE SURFACE EN PHASE VAPEUR REACTIVE PAR PLASMA,申请号FR19810018602-传众专利搜索

发明名称	INSTALLATION POUR LE DEPOT DE COUCHES MINCES EN GRANDE SURFACE EN PHASE VAPEUR REACTIVE PAR PLASMA
摘要
申请公布号	FR2514033(B1)	申请公布日期	1985.09.27
申请号	FR19810018602	申请日期	1981.10.02
申请人	HENAFF LOUIS	发明人
分类号	B01J19/08;C23C16/50;C23C16/505;C30B23/00;C30B25/02;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/205;(IPC1-7):C23C13/08	主分类号	B01J19/08
代理机构		代理人
主权项
地址