| 发明名称 |
METHOD OF FORMING THIN LAYER ELECTRIC CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS60189939(A) |
申请公布日期 |
1985.09.27 |
| 申请号 |
JP19850030682 |
申请日期 |
1985.02.20 |
| 申请人 |
SORUMU SA |
发明人 |
IONERU SOROMON;JIYATSUKU MEO;PATORITSUKU MERIINIYU |
| 分类号 |
C23F4/02;C25F3/14;H01L21/306;H05K3/08 |
主分类号 |
C23F4/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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