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发明名称 FEEDER FOR LIQUID NITROGEN TO CRYOPUMP
摘要
申请公布号 JPS60188871(A) 申请公布日期 1985.09.26
申请号 JP19840043958 申请日期 1984.03.09
申请人 NIPPON GENSHIRYOKU KENKYUSHO;HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 SHIBATA TAKEYOSHI;SHIBANUMA KIYOSHI;ONO YOUICHI
分类号 H05H1/22;F04B37/08;G21B1/00;G21B1/05 主分类号 H05H1/22
代理机构 代理人
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