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发明名称
摘要
申请公布号 JPS60501635(A) 申请公布日期 1985.09.26
申请号 JP19840503077 申请日期 1984.05.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/265;H01L21/318;H01L21/338;H01L29/423;H01L29/47;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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