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发明名称 DRY-DEVELOPING NEGATIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0067067(B1) 申请公布日期 1985.09.25
申请号 EP19820302947 申请日期 1982.06.08
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 YONEDA, YASUHIRO;KITAMURA, KENROH;NAITO, JIRO;KITAKOHJI, TOSHISUKE
分类号 G03F7/004;G03F7/038;G03F7/075;G03F7/09;G03F7/30;G03F7/36;(IPC1-7):G03F7/26;G03C1/72;G03C1/71 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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