| 发明名称 |
A METHOD OF POSITIONING A WAFER IN A PROJECTION ALIGNER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
HK68485(A) |
申请公布日期 |
1985.09.20 |
| 申请号 |
HK19850000684 |
申请日期 |
1985.09.12 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SUSUMU KOMORIYA;HIROSHI NISHIZUKA;KOYO MORITA;TAKAYOSHI OSAKAYA |
| 分类号 |
G03F7/20;(IPC1-7):G05D3/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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